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一、項目基本情況
項目編號:2024BFAHZ02989
項目名稱:安徽大學集成電路實驗室特氣裝備及監(jiān)控系統(tǒng)(一期)采購項目
首次公告日期:2024年11月22日
二、更正信息
更正事項:? 采購公告 ? 采購文件 □ 采購結果
更正內(nèi)容:
1.本項目獲取招標文件截止時間、提交(上傳)投標文件截止時間(開標時間)變更為:2024年12月23日9點30分。 2.本項目提交(上傳)投標文件地點(開標地點)變更為:合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號要素交易市場A區(qū)(徽州大道與南京路交口)2樓8號開標室。 3.招標文件第三章“采購需求”的氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表中,CHF3、N2O、SF6的“稱重傳感器”項均變更為“Yes”。 4、招標文件第三章“采購需求”的第3.2.3條“尾氣處理系統(tǒng)”中,統(tǒng)一刪除“NF3”。 5、招標文件第三章“采購需求”的氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表中,“PG”統(tǒng)一變更為“PT”。 6、招標文件第三章“采購需求”的閥門分配箱/閥門分配盤(VMB/VMP)配置要求表中,SIH4、NH3、H2/N2、H2的“控制器Z吹掃”項均變更為“Yes”。
更正日期:2024年12月05日
三、其他補充事宜
1.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,H2/N2為可燃性氣體,規(guī)范無強制要求,H2/N2,PH2 GC/VMB配置的UVIR是否可優(yōu)化取消? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 2.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,N2O行業(yè)內(nèi)一般按惰性氣體做成GR及VMP的形式,N2O的供應及輸送方式是否需要改成GR及VMP? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 3.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,PO2行業(yè)內(nèi)一般按惰性氣體做成GR及VMP的形式,PO2的供應及輸送方式是否需要改成GR及VMP? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 4.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,PN2主管需要配置7N純化器,能否修改? 答:經(jīng)采購人確認,按照9N純化器配置。 5.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,能否提供PN2的平均及峰值使用流量?純化器是安裝在吹掃氣架還是安裝在VMP主管? 答:經(jīng)采購人確認,投標人按招標文件進行配置,以招標文件要求為準。 6.招標文件第三章“采購需求”中,“調(diào)壓閥:此類器件的選用應適合所有工藝氣體,需二次熔煉達到高純UHP等級,高壓69mpa,5000L大流量”,此處調(diào)壓閥的耐壓值及流量要求,能否根據(jù)實際對應要求進行合適調(diào)整選型? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 7.招標文件第三章“采購需求”中,氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表要求10.4”觸摸屏操作,能否修改? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 8.招標文件第三章“采購需求”中,氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表要求O2配置高壓保壓,能否修改? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 9.招標文件第三章“采購需求”中,氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表要求O2配置EFS,能否修改? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 10.招標文件第三章“采購需求”中,氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表要求停電時強制供氣(一鍵強供)OFF/ON,此功能能否用電磁閥強制開啟的功能替代? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 11.招標文件第三章“采購需求”中,閥門分配箱/閥門分配盤(VMB/VMP)配置要求表,VMB內(nèi)是否需要配置UVIR? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 12.招標文件第三章“采購需求”中,“儀控系統(tǒng),設置于可燃性氣體貯存區(qū)域的儀表及電氣設備必須是本安防爆型或以防爆外箱保護”,可燃性氣體的電氣設備是否可使用Z-Purge 保正壓的防爆設計形式? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準:按防爆要求配置。 13.招標文件第三章“采購需求”中,“儀控系統(tǒng),設置于可燃性氣體貯存區(qū)域的儀表及電氣設備必須是本安防爆型或以防爆外箱保護”,GC設備內(nèi)部的PT及電子秤是否需要使用防爆型號? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 14.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,第15項“監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)”要求“PLC模塊配置合理,CPU冗余”,是否可采用非冗余1200或1500CPU? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 15.招標文件第三章“采購需求”中,針對“基礎網(wǎng)路要求”第(4)條要求,ECP與各I/O盤之間通過ET200SP方式連接是否可以? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 16.招標文件第三章“采購需求”中,針對特氣監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)硬件配置要求的“監(jiān)控主機”,監(jiān)控組態(tài)軟件是否可采用1萬點(運行版)? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 17.招標文件第三章“采購需求”中,針對特氣監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)硬件配置要求的“電力盤”,UPS容量是否可以小于30KVA,60分鐘,配通訊卡? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 18.招標文件第三章“采購需求”中,針對特氣監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)硬件配置要求的“電力盤”,一次側電箱到二次側電箱的電纜由哪方負責? 答:經(jīng)采購人確認,由中標人負責提供。 19.能否提供偵測器配置清單,以確定偵測器數(shù)量? 答:需按照GC/VMB配置對應抽風及環(huán)境取樣點,及工藝機臺端抽風及環(huán)境取樣點。本次招標總數(shù)量不少于30個(需供貨)。 20.本項目附件圖紙中包含如CHF3、NH3等系統(tǒng)灰色設備及管道,該灰色部分內(nèi)容是否在工作范圍之內(nèi)? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 21.二次配管道系統(tǒng)及GMS系統(tǒng)是否在本包工作范圍之內(nèi)? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 22.本項目附件圖紙中氣體房配置等離子尾氣處理器一臺,相關采購需求文件該配置為加熱催化吸附尾氣處理器一臺,煩請確認需求? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 23.本項目附件圖紙中干式吸附式尾氣處理器為灰色,是否為現(xiàn)有設備,煩請確認需求;如需采購建議該臺改為電熱水洗式以適配SiH4尾氣處理? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 24.能否明細各系統(tǒng)VMB/P具體數(shù)量及擺放位置? 答:詳見工藝設備UM表(投標人在獲取招標文件后,自行登錄電子交易系統(tǒng)下載本項目附件)。 25.能否提供“研發(fā)中心氣體管道平面圖”圖紙,以復核相關管道工程量? 答:復核相關管道工程量,可參考工藝設備UM表(投標人在獲取招標文件后,自行登錄電子交易系統(tǒng)下載本項目附件)和招標文件相關附圖。 26.請確認本項目氣體設備相關普氮、消防、抽風、PCW、Drain等輔助系統(tǒng)工作界面? 答:工作界面分設在特氣房和研究中心上、下夾層。 27.圖紙中GN2系統(tǒng)接至研發(fā)中心一層,煩請確認GN2系統(tǒng)工作界面,如在工作范圍內(nèi),煩請?zhí)峁┭邪l(fā)中心一層相關GN2圖紙? 答:GN2管道不在本次施工范圍內(nèi),工作界面分設在特氣房和研究中心下夾層。 28.圖紙中涉及C2F6、CO2系統(tǒng),招標文件無相關內(nèi)容,煩請確認需求? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 29.招標文件要求特氣裝備及監(jiān)控系統(tǒng)應包括如下設備:全自動氣瓶柜(GC、VMB)6套、全自動氣瓶架(GR、VMP)6套,該數(shù)量與圖紙不對應匹配,煩請明確本次相關用氣種類? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 30.招標文件第三章“采購需求”中,Plasma&Wet Scrubber需潔凈室配置兩臺,(1)煩請確認該工藝端尾氣處理器設備采購及安裝是否在工作范圍之內(nèi)?(2)如在,相關配電、氣動、泵管等管道連接工作是否在本包工作范圍之內(nèi)?(3)工藝尾氣處理器,需要配套真空泵使用,該真空泵的設備提供及安裝是否在本包范圍之內(nèi)? 答:以上第(1)-(3)項全部在工作范圍內(nèi),且須全面滿足系統(tǒng)運行需要。 31.招標文件第三章“采購需求”中,涉及CF4、H2/N2氣體供應系統(tǒng)各一套,特氣間設備及管道平面圖中未見相關內(nèi)容,煩請確認需求? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 32.能否提供“招標文件正文”文件可編輯檔? 答:以供應商通過招標公告規(guī)定的獲取招標文件方式獲取的文件版本為準。 33.《特氣招標附圖3——氣施-07 特氣間設備及管道平面圖》中,許多系統(tǒng)灰色標注不在本次范圍。請確認灰色標注的管線及設備是否是本次工程范圍? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 34.招標文件第三章采購需求中,針對項目采購貨物清單,招標圖紙中并無該套系統(tǒng),請確認是否是圖紙中的H2系統(tǒng)?H2/N2的氣體比例是多少? 答:(1)按PH2系統(tǒng)提供設備。(2)H2/N2中,H2的比例小于4%,按防爆要求配置設備。 35.招標文件第三章采購需求中,針對設備、材料等供貨范圍,請確認GC/GR/VMB/VMB/尾氣處理器數(shù)量,是否以圖紙為準? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 36.《特氣招標附圖3—氣施-07 特氣間設備及管道平面圖》中,附件圖紙中AR與O2為集裝格供應,與招標文件不符,請確認需求? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 37.《特氣招標附圖3—氣施-07 特氣間設備及管道平面圖》中,請確認圖紙中的GN2系統(tǒng)是否在本次范圍? 答:GN2管道不在本次施工范圍內(nèi),工作界面分設在特氣房和研究中心下夾層。 38.《特氣招標附圖4——暖施-37 特氣房管道平面圖》中,圖紙中CDA及THWR缺少,請確認CDA和THWR/S是否在本次范圍? 答:本圖紙為特氣房管線施工圖,無CDA及THWR/S管線。 39.《特氣招標附圖5——工藝設備平面布局圖》中,圖中設備是否放置在研發(fā)中心一層圖?從VMB/VMP到工藝機臺的管道是否在本次范圍? 答:(1)可自行作合規(guī)性優(yōu)化,中標人優(yōu)化方案的實施需事先征得采購人同意。(2)VMB/VMP到工藝機臺的管道在本次范圍之內(nèi)。 40.招標文件第三章“采購需求”的表1氣瓶柜/氣瓶架(GC/GR)配置要求表,從表中可以看到GC/GR采用的單瓶配置,請確定第1-11臺GC/GR采用的配置方式? 答:經(jīng)采購人確認,按照雙瓶氣柜尺寸規(guī)格配置,具體以招標文件要求為準。 41.招標文件第三章“采購需求”的表2閥門分配箱/閥門分配盤(VMB/VMP)配置要求表,表中定義的操作方式為VMB全自動,除了PN2的VMP半自動,PN2的VMP手動,表中操作方式描述是否準確? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 42.招標文件第三章“采購需求”中,排風系統(tǒng)要求“可燃氣體排風管應配置阻火器”,GC/VMB設備的排風管道一般接至最近預留的排風系統(tǒng),并由抽風機一并排出,全程管內(nèi)封閉無外漏,這里的阻火器是否是SIH4、H2設備Vent管排至高空末端所需要的? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 43.招標文件第三章“采購需求”中,主要子系統(tǒng)配置規(guī)范第13項“PN2吹掃系統(tǒng)”要求“7N純化器”,對純化器的純化指標有要求嗎,是否需要去除CH4? 答:經(jīng)采購人確認,按照9N純化器配置。 44.特氣招標附圖7——暖施-14 特氣房空調(diào)通風平面圖(特氣房廢氣排放接口圖),研發(fā)中心有排氣系統(tǒng)預留點位圖嗎?GC設備排氣口徑φ150,特氣房廢氣排放接口圖預留的尺寸多為φ100,圖紙是否有做調(diào)整,或者并用預留管口? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準,可以自行作合規(guī)性優(yōu)化,中標人優(yōu)化方案的實施需事先征得采購人同意。 45.招標文件第三章“采購需求”中,特氣監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)硬件配置要求第3項“GDS系統(tǒng)”,本次項目是否需要冗余CPU?對CPU型號是否有明確要求,網(wǎng)絡是否需要環(huán)網(wǎng)?本次項目是否能考慮I/O冗余20%? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 46.《特氣招標附圖2——特氣房電氣系統(tǒng)圖~05-07》《特氣招標附圖6——研發(fā)中心工藝配電系統(tǒng)圖~16-23》,能否明確給GDS系統(tǒng)預留的斷路器大小及其對應電盤所在位置?能否明確特氣間設備和研發(fā)中心設備是分兩路供電還是共用一路電?GDS系統(tǒng)線纜是否參考圖中所示線纜信號,動力線纜采用ZB-YJV,信號線纜采用ZR-KVV,對于信號線線徑是否有要求? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 47.《特氣招標附圖5——工藝設備平面布局圖》,(1)GDS系統(tǒng)的監(jiān)控電腦是否置于F203-FMCS室內(nèi)?(2)GDS系統(tǒng)位于研發(fā)中心的控制盤和電盤是否可以置于F125-1,F125-2技術下夾層(VMB附近)? 答:(1)是;(2)可作合規(guī)性優(yōu)化,中標人優(yōu)化方案的實施需事先征得采購人同意。 48.本包涵蓋二次配系統(tǒng),能否提供UM表、工藝設備水電氣接口圖? 答:可參考工藝設備UM表(投標人在獲取招標文件后,自行登錄電子交易系統(tǒng)下載本項目附件)和招標文件相關附圖。 49.《特氣招標附圖3——氣施-07 特氣間設備及管道平面圖》,圖紙中氣體房間內(nèi)特氣系統(tǒng)與招標文件中項目采購貨物清單提供特氣系統(tǒng)種類不一致,煩請確認兩者優(yōu)先等級? 答:經(jīng)采購人確認,圖紙僅供參考,具體以招標文件要求為準。 50.招標文件第三章采購需求的第3.2.1.5條“檢驗和測試要求”中,PN2未提供水增量、氧增量及顆粒度檢測標準,能否提供相關檢測標準? 答:不低于特氣系統(tǒng)檢測標準。 51.招標文件第三章“采購需求”中,針對“3.1 主要子系統(tǒng)配置規(guī)范”,第15項“監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)”技術參數(shù)及要求第5條要求“I/O卡槽及各種I/O點應不低于預留100%容量”,能否修改? 答:經(jīng)采購人確認,以招標文件要求為準。 52.招標文件第三章“采購需求”中,針對特氣監(jiān)控系統(tǒng)(GMS)硬件配置要求的“電力盤”,此項中UPS是否是投標人提供?UPS容量30KVA是否可以根據(jù)實際需求調(diào)整? 答:經(jīng)采購人確認,UPS由中標人提供,具體以招標文件要求為準。 注:(1)本項目實施全流程電子化交易,投標文件實施網(wǎng)上遠程解密,投標人無需前往開標現(xiàn)場。 (2)此公告視同采購文件的組成部分,與采購文件具有同等法律效力。請投標人及時下載。
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問,請按以下方式聯(lián)系
1.采購人信息
名稱:安徽大學
地址:合肥市蜀山區(qū)九龍路111號
聯(lián)系方式:0551-63861283
2.采購代理機構信息
名稱:安徽公共資源交易集團項目管理有限公司
地址:合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號(徽州大道與南京路交口)六樓
聯(lián)系方法:0551-66223922
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人:李工
電話:0551-66223923